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半导体零部件-腔体及机械零部件
2025-03-11

腔体是半导体设备关键零部件,主要用于刻蚀、薄膜沉积设备中。腔体通常由高纯度、耐腐蚀的材料制成,主要为不锈钢和铝合金。腔体为晶圆生产提供耐腐蚀、洁净和高

磁控溅射属于等离子体镀膜的原理
2025-03-11

磁控溅射技术是一种常用的薄膜制备技术,广泛应用于光学薄膜、电子器件、陶瓷材料等领域。它利用磁场作用下的等离子体来制备薄膜,具有高附着力、高镀率、均匀性

半导体制造中真空泵主要用于哪些环节中?
2025-03-07

半导体是现代电子工业的核心,其制造过程涉及数百道精密工序。在这一复杂流程中,真空泵扮演着不可或缺的角色。从硅片加工到芯片封装,真空技术贯穿始终,为半导

半导体零部件的分类
2025-03-05

半导体设备零部件位于产业链上游,为半导体行业发展提供重要支撑。半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律,半导体设备是延续行业“摩尔定律

真空泵的分类与作用机理以及在半导体行业的应用
2025-03-05

真空技术是建立低于大气压力的物理环境,以及在此环境中进行工艺制作、物理测量和科学试验等所需的技术。真空技术主要包括真空获得、真空测量、真空检漏和真空应

分子泵:应用精析与故障妙修全攻略
2025-02-28

分子真空泵(简称分子泵)的抽气机制有别于传统机械泵依靠泵腔容积变化抽气,它以动量传递原理为基石,驱动气体分子定向流动实现抽气。凭借工作的稳定可靠与分子

什么才算真空?真空的七层理解,你在第几层?
2025-02-28

以下文章来源于Linvo说宇宙 ,作者LinvoLinvo说宇宙.通俗易懂聊宇宙(天文、量子、弦理论...不聊哲学)什么是真空?一般人能想到

安捷伦涡旋干泵使用维护讲解
2022-01-17

涡旋干泵是一种干式的真空泵,其无需加油换油,也没有含油废气的排放,使用维护也非常方便,所以受到了很多客户的青睐。涡旋干泵可以用于质谱仪器、样品前处理、

买的好更要用的好 油式旋片真空泵使用维护
2022-01-17

油式旋片真空泵是一种十分成熟可靠的真空泵,通常也被叫做油泵、机械泵、旋片泵等,其价格便宜真空度好,广泛应用于热处理、镀膜、质谱仪器、样品前处理、冷冻干

等离子体反应器中也需要气体精准测控
2021-09-08

在半导体、太阳能以及其他涉及到表面处理行业的制造工艺中,我们在CVD、PVD、ALD之外,还常常能够看到RIE、IBE、SAB等缩写,他们是什么意思呢

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