英福康膜厚仪系列

功率方面的问题

功率加上了，束流加不上

检查：直接测量源输出电压是否与功率匹配

功率与束流匹配，但镀膜速度与以往不一致 

功率跳跃过大

检查：

1、参数设置

2、外部原因

坩埚转位方面的问题

现象：坩埚不转位或转动位置不对或一直转位中

检查：

1、坩埚转位控制的设置 

2、直接测量坩埚转位对应的继电器是否断开或闭合 

3、检查到位信号

通讯方面的问题

现象：无通讯

检查：

1、端口设置：通讯口波特率，校验位 

2、使用RS232 loopback 测试 

3、更换USB转RS232线

4、使用端口测试软件测试电脑端口

参数丢失的问题

主板电池使用寿命8-10年

建议参数备份

详询电话：17301743486