产品特性

探头输入可指定不同的材料，大型系统中，为了精确控制，可以将多个探头信号平均，也可以配置成双探头，速率采样模式可在高速率镀膜工艺中延长带挡板探头的使用寿命。客户可选择速率显示精度0.1Å/秒或0.01Å/秒，也可以选择显示频率或质量。SQM-160有四个继电器输出，可用于控制源或探头挡板，也可作为时 间控制点，厚度控制点或晶振失效的控制信号，数字信 号输入可以实现外部启动仪器，停止测量或读值归零。

SQM-160带有一个RS-232端口和Windows®软件,帮助您用计算机设置仪器 . 软件可用于设定与贮存全部参数, 运行仪器, 和用Excel®文件格式保存过程数据USB或以太网选项增加通讯的灵活性。

使用方便

当速率和膜厚测量开始时,按Zero(置零)将上次膜厚的读值归零，接着按Shutter（挡板）打开源或探头挡板又大又亮的显示器同时显示膜厚和速率读值，可从室内的 任意角落读出当达到要求的膜厚， 或达到预定的时间,挡板关闭，相应的面板信号灯亮任何时候按 XtalLife(晶体寿命)按钮可查阅剩余的晶体寿命两组菜单用来设置贮存仪器控制的99个膜系参数按Program(程序)可进入菜单旋转设定旋钮来选择/编写参数主显示器可显示菜单提示信息,所有数值显示在辅助(时间)显示器上.

高精度-低成本

在10读值/秒下的标准频率分辨率为0.3Hz高精度选项在10读值/秒下将分辨率提高至的0.03Hz在整个运筹范围内温度稳定性为2ppm集成高精度与高稳定性于一

台仪器中,如此低的价格是无可匹敌的!