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IC6膜厚控制仪
简介:
IC6膜厚控制仪具有超常的性能,它将所有久经客户检验 的INFICON膜厚控制仪的突出特性结合起来,所有的设计都保证您的镀膜过程取得最好的效果. IC6采用我们的ModeLock频率测量系统,具有工业领先的稳定性、分辨 率和膜厚测量精度。使其更适宜光学镀 膜工艺, 如反射膜 带通滤光膜, 和 AR 镀膜等 . 没有其它的 石英晶片控制仪具有 IC6 这样的性能, 质量和特色, 以及 卓越的可重复性

产品详情

可靠的工艺控制

功能全面的 IC6 易于集成在您的系统中,完成完整的工 艺过程控制 . IC6 有能力同时控制 6 个源的速率和膜厚 .  可为源控制,速率数据或膜厚数据指定 12 路模拟输出 . 

IC6 逻辑和过程控制包含 100 条可编程的逻辑语句, 20 计 数器和 20 定时器 . I/O 可提供多至 24 继电器输出, 28 TTL 输出, 和 14 TTL 输出 . 逻辑语句可用于连接外输入或输出; IC6 可执行 PLC 或其它外设备的功能 . 每个逻辑语句可包 含多至 5 个用 Boolean (布尔逻辑) 链接的功能 . 


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