可靠的工艺控制
功能全面的 IC6 易于集成在您的系统中,完成完整的工 艺过程控制 . IC6 有能力同时控制 6 个源的速率和膜厚 . 可为源控制,速率数据或膜厚数据指定 12 路模拟输出 .
IC6 逻辑和过程控制包含 100 条可编程的逻辑语句, 20 计 数器和 20 定时器 . I/O 可提供多至 24 继电器输出, 28 TTL 输出, 和 14 TTL 输出 . 逻辑语句可用于连接外输入或输出; IC6 可执行 PLC 或其它外设备的功能 . 每个逻辑语句可包 含多至 5 个用 Boolean (布尔逻辑) 链接的功能 .
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