先进的多膜层控制仪 — 来自技术领先者
用于普通镀膜的SQC310可连接2个探头,有两个源输 出,8个数字输入/输出,也可选择扩展板将输入/输出 数量加倍。用于共镀膜的SQC310C可连接4个探头,有4 路PID控制输出,16个数字输入,16个继 电器输出,技 术指标与SQC310相同。
全球性技术支持 — 我们的专长也是您的竞争优势
INFICON 是唯一可向您提供当地服务和全球性技术支持 的膜厚控制仪制造商,当然我们也为SQC310系列控制仪 提供多样的探头,馈入件及其它附件。订购SQC310系列 仪器-或其它任何INFICON产品,您将得到迅速的答复, 优质的服务和最长的设备正常运行时间。
优势
■ 高亮度, 彩色 LCD 显示器 – 可显示英文或中文
■ 标准 RS-232 和 USB (RS-232 和以太网选件)
■ "快速设置” 菜单,6 个与功能关联的按钮, 和灵便 的参数设定旋钮使得参数设置和操作更简单
■ Windows® 程序, 可开发, 测试, 和下载工艺过 程,也可将仪器数据记录至您的 PC 上, 用于工艺 分析与质量控制
■ 当淀积速率很低时, 在 4 每秒四次采样的分辨 率可达到 ± 0 .012 Hz, 在 0º 至 50ºC 温度范围内 的频率稳定性可达到± 2 ppm,保证精确的工艺 过程控制,
■ 贮存容量可高至 100 个工艺过程, 1,000 个膜层, 50个膜系
■ 可用单探头监测源材料,也可用多探头分布监 测,以提供更精确的源控制