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瑞士VAT公司是全球真空阀门

日期:2021-07-06 16:03:51


瑞士VAT公司是全球真空阀门的领导者,专业从事各类高品质真空阀门的研发、制造、销售和服务。产品广泛使用于半导体、平板显示器、太阳能、光电、真空镀膜、科研机构等高科技行业和领域,多年来全球市场份额稳居第一。
VAT专注于真空阀门领域,因其强大的研发创新能力和业界闻名的高品质,世界各领先半导体芯片设备以及太阳能设备制造厂商都在其机台设备中大量采用了VAT公司的产品。徽拓真空阀门(上海)有限公司是VAT在华全资子公司,负责VAT全系列产品在中国市场的销售和售后服务VAT Switzerland is the worldwide market leader in vacuum valves, specialize in all kinds of high quality Vacuum Valves, include R&D、Manufacture、Sales and Service.VAT business scope covers many industries & fields, such as Semiconductor manufacturing, LED, FDP, Solar, Opto-electrical, Coating, R & D center and so on. In the past years, VAT valves have the highest market share worldwide.VAT has fully specialized in vacuum valve technology. Own to its InnoVATion and high quality VAT enjoy a good reputation in Vacuum valve industry. Most major Semiconductor & Solar leaders use VAT valve as a standard part in their system.VAT Vacuum Valves(Shanghai) Co., Ltd is the wholly –Owned subsidiary of VATGroup which located in China, can provide all series of  VAT valves for Sales and after service.

产品推荐

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VAT S121型铝合金真空插板阀,作为VAT最经典的阀门系列之一,广泛应用于低温泵或分子泵的隔断、科研系统Loadlock隔断、工业真空、真空镀膜设备、半导体设备前级泵隔离等。

S121真空插板阀具有通用性强、成本低、易于维护、关闭位置机械锁定、能抵御全压差等特点。更有嵌入式版本节省设备空间。

 1. 经典的VATLock专利阀板锁紧机构。依靠水滴型滚珠槽配合连接与正反面阀板的弹簧片,完成轴向撑开动作,实现关闭位置机械锁死。避免因压缩空气失效引起的设备故障。水滴型槽更是使阀门运动更加平缓,减少冲击,延长使用寿命。

2. 运动中的低颗粒物生成。阀板在真空中是悬浮的,没有轴承、没有轨道。image.png

 

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3. 易于维护。容易拆卸,只需松开两侧螺丝即可抽出驱动器和阀板。简单维护无需拆卸法兰。维护后装回无需调整。且拆卸占用空间极小。

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4. 模块化设计。各种形式驱动器、阀体、阀板机构都能互换、兼容。

5. 小尺寸(DN50-100)更有无法兰的嵌入式紧凑版本供选择。

详细技术规格

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高真空泵隔断:

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