安捷伦分子泵性能怎么样？

分子泵可以任意角度安装吗

分子泵对安装角度的要求主要是基于其润滑方式，一些采用油润滑的分子泵仅可以竖直安装。安捷伦的涡轮分子泵采用润滑脂进行润滑，可以任意方向安装，并在竖直，水平和倒扣等方向进行过耐用性测试。

我需要安装进气口滤网吗？

进气口滤网不是必须的，您需要根据您的实际应用进行评估。安装进气口滤网后，可以防止真空系统的碎屑（如焊渣、铁屑、玻璃碴等）损坏分子泵的叶片，但是泵的有效抽速会显著减小。

分子泵工作时需要安装冷却套件吗

涡轮分子泵在压缩气体时会产生热量，不同的工艺条件（工作压力、气体流量、气体类型、环境温度等），需要选择不同的冷却方式，例如，长期工作在极限真空下的分子泵，采用自然对流冷却即可；工作在较高压力或者发热较大的应用的分子泵，可以采用强制风冷或水冷。下面这个简短的视频演示了如何为安捷伦分子泵安装风冷或水冷套件。

我可以在低温下启动分子泵吗

在低温下，轴承润滑剂具有很高的粘度（低润滑作用），可能导致轴承润滑不良和分子泵启动电流过大。即使泵看起来启动正常，也可能会对轴承造成一定的损伤，长期来看，这将影响泵的可靠性。安捷伦分子泵允许的正常工作温度范围是5-35摄氏度，在环境温度低于5摄氏度时，需要采取一定的加温措施。

我是否需要为分子泵安装吹扫套件

如果应用的工艺涉及腐蚀性气体或存在灰尘、颗粒，安捷伦建议在涡轮分子泵上安装轴承吹扫套件，将少量（10或20 sccm）中性气体（一般使用氮气）直接输送到涡轮分子泵内部，并形成一个从轴承到排气口的气流，以防止灰尘颗粒和腐蚀性气体接触轴承。

如何为分子泵选择前级泵

前级泵对于充分发挥涡轮分子泵的性能非常重要。安捷伦的真空产品选型手册为各个涡轮分子泵型号匹配的前级泵提供了具体建议，采用推荐的前级泵可以为涡轮分子泵提供合适的前级压力。有的型号推荐了多款前级泵，用户可以根据具体的工艺进行选择：腔体很大、需要频繁粗抽，工作压力较高或者气载比较大的应用，选择抽速较大的前级泵；反之选择抽速较小的前级泵。

在分子泵和前级泵之间是否需要阀门

一般的应用可以不用安装。不过对于超高真空的应用，或者意外破空会造成很大损失的应用，安捷伦强烈建议在涡轮分子泵和前级泵之间安装隔离阀，以防止在意外断电时系统真空被破坏。安捷伦有一种在断电时快速关闭，供电恢复后直到前级泵真空度足够好时才打开的VPI安全阀，部分安捷伦干泵还拥有集成于泵内的VPI安全阀。

对真空室进行粗抽时气流可以通过分子泵吗

粗抽时的粉尘或颗粒物有可能被携带到分子泵内部从而造成故障，而用于保护轴承的迷宫式密封结构也仅在转子高速旋转时才起作用。因此，如果真空室内有粉尘、颗粒或者腐蚀性气体，应该通过单独的管路对真空室进行粗抽，而不要通过停止的涡轮分子泵。在粉尘很多或者有腐蚀性气体的应用中，请始终使用吹扫功能。

我可以在有磁场的环境使用分子泵吗

涡轮分子泵在磁场中工作时，其转子切割磁感线会感应出涡流，涡流会产生热量使转子温度上升，并且增加分子泵的功率消耗。涡流效应的大小取决于磁场的强度、持续时间和方向，安捷伦涡轮分子泵持续工作时可承受的最大磁场值为：径向50高斯，轴向100高斯，高于该数值时，可能需要在泵的周围安装磁屏蔽挡板。

如何正确的停止分子泵

在高真空时，由于阻力很小，分子泵在电源关闭后，仍然会持续转动很长时间，在泵的转速降至足够低之前，如果腔体突然破空，可能造成分子泵严重的损坏。为了快速安全的停泵，通常使用泵身自带的手动破空螺钉对泵缓慢破空，也可以用特制的电磁阀取代手动破空螺钉进行自动破空。安捷伦涡轮分子泵有标准的破空电磁阀可以选配，该阀可以通过分子泵控制器自动控制，其流量可以保证泵在尽量短的时间内安全停机。

部分安捷伦分子泵还带有电磁刹车功能，利用电磁制动，无需破空就可以在高真空下快速停机。

安捷伦分子泵是完全无油的吗

安捷伦分子泵采用创新的无油陶瓷轴承技术，使用特殊的润滑剂进行润滑，该润滑剂的饱和蒸气压非常低，并且不含任何碳氢化合物，以避免对真空系统的污染。下图是油润滑的涡轮分子泵与安捷伦分子泵残余气体分析的结果对比：

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